LITHIUS Pro สร้างขึ้นเมื่อ 2007 (Japan), จาก 57 แบรนด์ในเครือ และ 540 แบรนด์คู่แข่ง. แบรนด์ LITHIUS Pro นี้เป็นของ Tokyo Electron ซึ่งเป็นบริษัทจดทะเบียนในตลาดหลักทรัพย์ของ Francfort ISIN ซึ่งเป็นรหัสหลักทรัพย์สากลของบริษัทคือ JP3571400005 ภาคธุรกิจของ LITHIUS Pro คือ เซมิคอนดักเตอร์

LITHIUS Pro เป็นแบรนด์ของ Tokyo Electron (TKY) แบรนด์อื่น ๆ